六氟化硫电气设备中气体介质的绝缘和灭弧能力主要依赖于足够的充气密度（压力）和气体的高纯度，气体的泄漏直接影响设备的安全运行和操作人员的人身安全。所以，SF6气体检漏是六氟化硫电气设备交接验收和运行监督的主要项目之一。根据有关规定，设备中每个气室的年漏气率不能超过1%。  
现场检漏的部位主要是设备气室的接头、阀门、表计、法兰面接口等，可参看设备的密封对应图。试验时，设备状况应尽可能与实际运行情况相符。通常，设备应分别在分、合闸位置进行密封试验，但如已证明密封与分、合闸位置无关或其中一种位置的密封试验能*包容另一种位置的密封试验时，则可只在该位置进行密封试验。检漏所使用的仪器一般为卤素气体检漏仪，这类仪器对各种电负性气体，如卤素、氟里昂、SF6等都有响应，因此在检漏过程中应注意环境中的干扰情况。检漏仪可有多种工作原理，但从其外观和功能上一般分为定性检漏仪和定量检漏仪两类。定性检漏仪小巧、轻便，通过声光信号来指示泄漏与否，但无法确定泄漏率；定量检漏仪体积较大，使用不如定性检漏仪方便，但可以显示被测部位的漏气率。  
检漏的方法包括定性检漏和定量检漏两大类。定性检漏通常使用定性检漏仪，也可使用定量检漏仪；定量检漏只能使用定量检漏仪。定性检漏  
定性检漏作为判断设备漏气与否的一种手段，通常作为定量检漏前的预检。用检漏仪进行的定性检漏还可以确定设备的漏点。  
1．抽真空检漏  
设备安装完毕在充入SF6气体之前必须进行抽真空处理，此时可同时进行检漏。方法为：将设备抽真空到真空度为113Pa，再维持真空泵运转30min后关闭阀门、停泵，30min后读取真空度A，5h后再读取真空度B；如B－A小于133Pa，则认为密封性能良好。  
2．检漏仪检满  
设备充气后，将检漏仪探头沿着设备各连接口表面缓慢移动，根据仪器读数或其声光报警信号来判断接口的气体泄漏情况。对气路管道的各连接处必须细致检查，一般探头移动速度以10mm/s左右为宜，以防探头移动过快而错过漏点。  
在检查过程中，应防止设备接口上的密封脂堵塞检漏仪探头的气体吸入口。接口上的油脂、灰尘等可能影响检测，查漏时应排除这些干扰因素。另外检查工作不应在风速过大的情况下进行，避免泄漏气体被风吹散而影响检漏工作。  
该法在实际使用中受到检漏仪灵敏度和响应速度的限制，一般使用该法检漏时检漏仪的检测限应小于10-6，响应时间在5s以下，越小越好。  
需要注意的是，由于检漏仪直接工作在大气环境中，极易受到空气中各种电负性强的杂质的干扰而发生误报等情况。所以在检漏过程中应尽可能保证环境空气不含烟雾、溶剂蒸气等干扰物。另外，如果检漏仪指示某处存在泄漏，还需要经过反复检查后才能确定。